1. 產品簡介
鈦含量≥：99.8（%)雜質含量：0.02（%）
牌號： TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6AL4V)，GR1，GR2，GR3，GR5( Ti6AL4V)
鈦圓靶 ：技術條件：符（fú）合GB/T2695-1996，ASTMB348-97
鈦（tài）板靶 ：技術條件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93
用途：用（yòng）於半導體分離器件、平麵顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表麵（miàn）塗層，玻璃鍍膜工業
2. 產品規格
圓靶：常用規格：60/65/95/100*30/32/40/45mm
板靶：(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm
管靶： 70mm * 7mm/10mm
3. 材質
TA1（Grade 1）、Zr1、Ta1、Mo1、Ni6
4. 性能標（biāo）準
化學成分符合 GB/T 3621-2007，GB/T 2965-2007，GB/T 3625-2007 等標準。
5. 標準值
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化（huà）學成分參考標準
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牌號
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Al
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V
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N≤
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C≤
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H≤
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Fe≤
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O≤
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其他元素（單一）
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其他元素（總和）
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TA1
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0.03
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0.08
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0.015
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0.20
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0.18
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0.1
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0.40
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TA2
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0.03
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0.08
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0.015
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0.30
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0.25
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0.1
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0.40
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TC4
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5.5-6.75
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3.5-4.5
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0.05
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0.08
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0.015
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0.30
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0.20
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0.1
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0.40
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機械（xiè）性能參考標準
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牌號
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室溫下力學性能，不小於
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抗（kàng）拉強（qiáng）度
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屈服強度
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伸長率
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斷麵收縮率
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TA1
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240 MPa
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170MPa
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25%
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30%
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TA2
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345MPa
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275 MPa
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20%
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30%
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TC4
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895MPa
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825 MPa
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10%
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20%
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